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400-100-3173

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Chiller直冷控溫機組

Chiller直冷控溫機組

接觸式高低溫測試機

 

設(shè)備應?溫度范圍-75~+200℃,?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫,最快速率可達到75℃/min,能夠精確的控制溫度,誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
應?于芯?研發(fā):在芯?設(shè)計階段,驗證其在不同溫度下的性能表現(xiàn);
質(zhì)量控制:在芯??產(chǎn)過程中,進?可靠性測試,確保產(chǎn)品符合標準;
失效分析:通過?低溫測試,分析芯?在極端溫度下的實效模式。

 

設(shè)備型號KSD-705KSD-705PULSKSD-710
溫度范圍-70℃~+200℃-75℃~200℃-75℃~200℃
溫度精度±0.2℃
升降溫速率最高達75℃/min
制冷能力0℃800W1000W2000W
?-40℃500W800W1500W
?-55℃300W450W900W

ZLTZ直冷控溫機組Chiller

 

新型直冷機適用于半導體、數(shù)據(jù)中心、新能源等需要高效、緊湊、可靠且精確散熱的行業(yè),尤其是在功率密度高、空間受限且對溫度敏感的領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢。新型直冷機無二次換熱,相比于傳統(tǒng)液冷設(shè)備,減少二次換熱帶來的傳熱損失,提升能效30%以上。新型直冷機能夠提供純液態(tài)的換熱介質(zhì),相比于傳統(tǒng)直冷機氣液兩相混合的換熱介質(zhì),新型直冷機充分利用制冷劑的潛熱換熱,換熱密度大幅提高,所需的換熱面積減少,能夠滿足半導體等行業(yè)高功率密度的需求。新型直冷機具備多路供液的能力,可精確控制每個支路的制冷量,滿足各支路的控溫需求。新型直冷機采用PT100高精度溫度傳感器和PID智能控制系統(tǒng),溫度誤差范圍極小,控溫精確可靠。

型號ZLTZ-3
ZLTZ-3W
ZLTZ-6
ZLTZ-6W
ZLTZ-10
ZLTZ-10W
ZLTZ-15W
溫度范圍?-10℃ ~25℃
制冷量0℃8.1kW16.25kW28.5kW40.2kW
-10℃5.48kW11kW19.35kW26.6kW
接口尺寸出口φ12φ12φ28φ28
回口φ20φ20φ35φ35
水冷25℃2m3/h4m3/h6.2m3/h10m3/h
冷卻水接口G3/4G3/4G1G1 1/4

型號ZLTZ4-3
ZLTZ4-3W
ZLTZ4-6
ZLTZ4-6W
ZLTZ4-10
ZLTZ4-10W
ZLTZ4-15W
溫度范圍?-40℃ ~20℃
制冷量-10℃5.2kW11.15kW18.4kW26.3kW
-20℃3.47kW7.41kW12.3kW18.35kW
-30℃2.24kW4.81kW7.92kW11.8kW
-40℃1.36kW2.95kW4.7kW5.83kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2m3/h4.2m3/h5.3m3/h6.2m3/h
冷卻水接口G3/4G3/4G3/4G1

型號ZLTZ8-3
ZLTZ8-3W
ZLTZ8-6
ZLTZ8-6W
ZLTZ8-10
ZLTZ8-10W
ZLTZ8-15W
溫度范圍?-80℃~ -30℃
制冷量-30℃
-40℃6.9kW14.8kW24.4kW36.7kW
-60℃3.3kW7.1kW12kW17.4kW
-75℃1.65kW3.55kW6kW8.7kW
接口尺寸出口φ12φ12φ16φ22
回口φ22φ22φ35φ35
水冷25℃2.7m3/h5.3m3/h6.68m3/h9.3m3/h
冷卻水接口G3/4G3/4G1G1 1/4

ZLJ系列

將制冷系統(tǒng)中的制冷劑直接輸出蒸發(fā)進入目標控制元件(換熱器)換熱,從而使目標控制對象降溫。具備換熱能力相對于流體(氣體)輸送入換熱器換熱能力更高,這樣特別適用于換熱器換熱面積小,但是換熱量大的運用場所。也可以如氣體捕集運用,將制冷劑直接通入捕集器蒸發(fā),通過捕集器表面冷凝效應,迅速捕集空間中的氣體。

 

型號ZLJ-41ZLJ-43ZLJ-46
ZLJ-41WZLJ-43WZLJ-46W
溫度范圍?-40℃~-15℃
控溫精度±1℃(出口溫度穩(wěn)態(tài))
制冷AT-35℃0.5kw1.6kw3.2kw
制冷劑R404A 可選配R507C R448
高溫降溫具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標在高溫運行時迅速進行降溫能力
尺寸320*400*600800*700*600450*700*1350
斷路器6A6A16A
型號ZLJ-81ZLJ-83ZLJ-86
ZLJ-81WZLJ-83WZLJ-86W
溫度范圍?-80℃~-50℃
控溫精度±1℃(出口溫度穩(wěn)態(tài))
制冷AT-70℃0.4kw1.3kw2.5kw
制冷劑R404A/R508B
高溫降溫具備高溫150度直接降溫技術(shù),滿足目標在高溫運行時迅速進行降溫能力
尺寸320*630*650950*1000*800550*1000*1750
斷路器10A16A25A
型號SLJ-3WSLJ-4WSLJ-6WSLJ-11W
溫度范圍-150℃~-110℃
制冷AT-120℃3KW4KW6KW11KW
制冷AT-135℃2.5KW3.3KW5KW9KW
制冷劑LNEYA -150混合制冷劑
尺寸750*750*1750750*750*1750950*1000*20501300*2000*3500
斷路器40A55A65A100A

 


 

快速溫變控溫卡盤CHUCK

該產(chǎn)品可以實現(xiàn)快速溫度變化,精準控制溫度。系統(tǒng)本??帶制冷機,避免了液氮、?氧化碳等的消耗,每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元。

系統(tǒng)提供開放的表?平整?作平臺,快速升降溫、恒溫控制,運?于RF器件和?密度功率器件測試,也可以運?于實驗室平板快速冷卻(?漿、?物制品、電池)等平板內(nèi)部采?制冷劑直接蒸發(fā)?式,相對液冷?式?幅度提?了換熱效率,提?單位?積平板的換熱功率。

 

溫度范圍-70℃~200℃(可以定制各種溫度范圍)
溫度均勻性土0.5℃
加熱速率-55℃至+25℃:12 分鐘
-40℃至+25℃:10 分鐘
+25℃至+150℃:20 分鐘
+25℃至+200℃:28 分鐘
+25℃至+300℃:40 分鐘
冷卻速率+150℃至+25℃:25 分鐘
+200℃至+25℃:30 分鐘
+300℃至+25℃:40 分鐘
+25℃至0℃:15 分鐘
+25℃至-40℃:35 分鐘
+25℃至-55℃:65 分鐘
冷卻方式直冷系統(tǒng)/液冷系統(tǒng)/氣冷系統(tǒng)
控溫方式內(nèi)置多個溫度傳感器,多區(qū)控溫,精確FII調(diào)節(jié)控溫
晶圓載板鍍鎳(金/非導電),與卡盤柔性連接,方便更換,載板平面度3μm≤10μm
晶圓吸附類型真空吸附
卡盤尺寸φ330*58mm
電源220V 50HZ200~230V AC50/60HZ 16A max
通訊方式ModbusRTU協(xié)議,RS485接口,選配CAN通信總線、以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
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