400-100-3173

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FLTZ變頻系列

FLTZ變頻系列

半導(dǎo)體溫控裝置Chiller 主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，控溫范圍：-100℃～+90℃；控溫精度：±0.05℃。公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

產(chǎn)品詳情詳細(xì)參數(shù)

chiller 的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進(jìn)出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進(jìn)行全面管理監(jiān)控記錄。

40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機(jī)熱氣加熱。chiller 循環(huán)系統(tǒng)采用全密閉設(shè)計、循環(huán)泵采用磁力驅(qū)動泵。Chiller 100%氦檢測，100%安規(guī)檢測，確保系統(tǒng)安全可靠。chiller 100%經(jīng)過24小時連續(xù)運(yùn)行拷機(jī)。

冷凝器 微通道換熱器（風(fēng)冷）板式換熱器（水冷）；蒸發(fā)器：板式換熱器；節(jié)流裝置：電子膨脹閥；控制系統(tǒng)：PLC可編程控制器

通訊：RS485接口Modbus RTU協(xié)議，以太網(wǎng)接口 TCP/IP協(xié)議

操作界面：無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

循環(huán)系統(tǒng)：整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng)。

外殼材質(zhì)：冷軋板噴塑RAL7035；管路內(nèi)部含：不銹鋼SUS304、銅、陶瓷、碳化硅、硅酮密封膠、PTFE

 

FLTZ? 5℃~+90℃

型號FLTZ-002FLTZ-003FLTZ-004FLTZ-006FLTZ-008FLTZ-010FLTZ-015
FLTZ-002WFLTZ-003WFLTZ-004WFLTZ-006WFLTZ-008WFLTZ-010WFLTZ-015W
溫度范圍5℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? （DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500

FLTZ? -25℃~+90℃

型號FLTZ-202FLTZ-203FLTZ-204FLTZ-206FLTZ-208FLTZ-210FLTZ-215
FLTZ-202WFLTZ-203WFLTZ-204WFLTZ-206WFLTZ-208WFLTZ-210WFLTZ-215W
溫度范圍?-25℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量10～25L/min15～45L/min25～75L/min
制冷量at-15℃2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.2m3/H1.6m3/H2.6m3/H3.6m3/H5.5m3/H7m3/H10.2m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500

FLTZ? -45℃~+90℃

型號FLTZ-402FLTZ-403FLTZ-404FLTZ-406FLTZ-408FLTZ-410FLTZ-415
FLTZ-402WFLTZ-403WFLTZ-404WFLTZ-406WFLTZ-408WFLTZ-410WFLTZ-415W
溫度范圍?-45℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量10～25L/min? 5bar max15～45L/min 6bar max25～75L/min 6bar max
制熱采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG3/4
冷卻水接口ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/H2.4m3/H3.5m3/H5m3/H5.5m3/H6m3/H8m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*500*15001080*500*1500

FLTZ? -80℃~+90℃

型號FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度范圍?-80℃～+90℃
控溫精度±0.05℃ （出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制7～25L/min? 5bar max12～45L/min 6bar max
制冷量at-70℃0.6KW1KW1.5KW2KW3KW
加熱功率2KW2KW2KW3.5KW3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃1.8m3/h2.5m3/h3m3/h5m3/h6m3/h
斷路器25A25A32A40A50A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸550*700*1750650*850*1850700*850*1850700*850*1850800*1200*1850

FLTZ? -100℃~+90℃

型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍?-100℃～+90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制7～25L/min 6bar max12～45L/min 6ba max
制冷量at-90℃1.5KW3KW
加熱功率3.5KW5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積5L8L
膨脹罐容積10L15L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
斷路器32A63A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

 

FLTZ? 5℃~+90℃

型號FLTZ-002FLTZ-003FLTZ-004FLTZ-006FLTZ-008FLTZ-010FLTZ-015
FLTZ-002WFLTZ-003WFLTZ-004WFLTZ-006WFLTZ-008WFLTZ-010WFLTZ-015W
溫度范圍5℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R410A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等? （DI溫度需要控制10℃以上）
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/h2m3/h2.5m3/h4m3/h4.5m3/h5.6m3/h9m3/h
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -25℃~+90℃

型號FLTZ-202FLTZ-203FLTZ-204FLTZ-206FLTZ-208FLTZ-210FLTZ-215
FLTZ-202WFLTZ-203WFLTZ-204WFLTZ-206WFLTZ-208WFLTZ-210WFLTZ-215W
溫度范圍?-25℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量10～25L/min15～45L/min25～75L/min
制冷量at-15℃2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.2m3/H1.6m3/H2.6m3/H3.6m3/H5.5m3/H7m3/H10.2m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -45℃~+90℃

型號FLTZ-402FLTZ-403FLTZ-404FLTZ-406FLTZ-408FLTZ-410FLTZ-415
FLTZ-402WFLTZ-403WFLTZ-404WFLTZ-406WFLTZ-408WFLTZ-410WFLTZ-415W
溫度范圍?-45℃～90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量10～25L/min? 5bar max15～45L/min 6bar max25～75L/min 6bar max
制熱采用壓縮機(jī)制熱，防止冷凝器結(jié)霜技術(shù)
制冷量at-35℃1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L12L20L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L25L35L
制冷劑R404A
載冷劑硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進(jìn)出接口尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG3/4
冷卻水接口ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷卻水流量at20℃1.5m3/H2.4m3/H3.5m3/H5m3/H5.5m3/H6m3/H8m3/H
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*500*15001080*500*1500

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -80℃~+90℃

型號FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度范圍?-80℃～+90℃
控溫精度±0.05℃ （出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制7～25L/min? 5bar max12～45L/min 6bar max
制冷量at-70℃0.6KW1KW1.5KW2KW3KW
加熱功率2KW2KW2KW3.5KW3.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
進(jìn)出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃1.8m3/h2.5m3/h3m3/h5m3/h6m3/h
斷路器25A25A32A40A50A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度
尺寸550*700*1750650*850*1850700*850*1850700*850*1850800*1200*1850

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

FLTZ? -100℃~+90℃

型號FLTZ-1002WFLTZ-1004W
溫度范圍?-100℃～+90℃
控溫精度±0.05℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
流量控制7～25L/min 6bar max12～45L/min 6ba max
制冷量at-90℃1.5KW3KW
加熱功率3.5KW5.5KW
內(nèi)循環(huán)液容積5L8L
膨脹罐容積10L15L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
導(dǎo)熱介質(zhì)接口ZG3/4ZG3/4
冷卻水接口ZG3/4ZG1
冷卻水a(chǎn)t20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
斷路器32A63A
?藝過程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度

所有設(shè)備額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。進(jìn)?溫度：20℃；出?溫度：25℃。

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