LNEYA 帕爾貼熱電的CHILLER有五款款型號可選，為晶圓蝕刻工藝提供可靠和精確的溫度控制

重要功能和優(yōu)勢
·高可靠性和低使用成本
·工業(yè)空間占用率小
·極低的導熱液填充量
·低能耗，沒有壓縮機和制冷劑的系統，同時只有在有負載時輸出，大幅度降低能耗
制熱、直冷時，冷熱部件沒有與導熱液直接接觸
·動態(tài)控溫，精準控制過程溫度，快速溫度響應
·溫度漂移保護功能使得刻蝕的輪廓更加穩(wěn)定
·改善Wafer-Wafer的穩(wěn)定性
·模塊化部件使得維修更加方便
·使用全氟液體