光刻機(jī)/封裝產(chǎn)線雙場景Chiller適配薄膜沉積等核心設(shè)備

在光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線雙場景下Chiller（溫控設(shè)備）需同時滿足光刻工藝溫控和封裝可靠性測試熱管理的嚴(yán)苛需求，尤其在薄膜沉積等核心設(shè)備中，其技術(shù)適配性體現(xiàn)在以下維度：

一、雙場景技術(shù)適配Chiller

1、光刻機(jī)場景：準(zhǔn)確溫控

激光光源冷卻：采用雙循環(huán)冷卻架構(gòu)，主循環(huán)維持20℃基準(zhǔn)溫度（波動±0.1℃），次級循環(huán)針對EUV光源提供-10℃低溫，影響光源功率漂移。

工件臺熱穩(wěn)定性：通過鈦合金微通道換熱器直接冷卻平臺，結(jié)合溫度反饋算法，實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度梯度。

薄膜沉積工藝：在ALD/CVD過程中，Chiller需準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔體溫度，確保薄膜均勻性。

2、封裝產(chǎn)線場景：寬溫區(qū)快速切換

高溫老化測試：模擬芯片在150℃環(huán)境下的長期穩(wěn)定性，Chiller需支持10℃/min快速升溫，并結(jié)合熱回收技術(shù)降低能耗。

低溫存儲驗(yàn)證：在-40℃環(huán)境下驗(yàn)證封裝材料抗脆裂性，Chiller采用雙壓縮機(jī)冗余設(shè)計，確保低溫段控溫精度±0.2℃。

溫度沖擊試驗(yàn)：在-65℃~150℃范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)30秒溫變，篩選潛在工藝缺陷。

二、薄膜沉積設(shè)備溫控方案

1、熱管理挑戰(zhàn)

化學(xué)氣相沉積（CVD）：反應(yīng)腔體需維持高溫（如200℃），但基座需冷卻至50℃以防止熱應(yīng)力開裂。Chiller采用分區(qū)控溫設(shè)計，高溫區(qū)用導(dǎo)熱油循環(huán)加熱，低溫區(qū)由冷水機(jī)組提供15℃冷卻水，溫差梯度控制精度達(dá)±1℃。

物理氣相沉積（PVD）：濺射靶材溫度需穩(wěn)定在200℃±1℃，Chiller通過脈沖寬度調(diào)制（PWM）控制冷卻液流速，避免靶材過熱變形。

2、國內(nèi)設(shè)備商創(chuàng)新方案

冠亞恒溫Chiller：推出多通道獨(dú)立控溫系統(tǒng)，支持光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線并聯(lián)運(yùn)行，通過PID+模糊控制算法，實(shí)現(xiàn)光刻環(huán)節(jié)±0.1℃、封裝環(huán)節(jié)±0.1℃的差異化精度需求。

冠亞恒溫采用定制Chiller系統(tǒng)，通過多場景算法適配、分區(qū)控溫架構(gòu)、冗余安全設(shè)計，系統(tǒng)性解決光刻機(jī)與封裝產(chǎn)線的溫控需求，尤其針對薄膜沉積等核心設(shè)備提供定制化解決方案，助力國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)線發(fā)展。