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在半導體薄膜沉積工藝中，薄膜沉積冷水機PVD chiller的穩定運行有助于薄膜質量和生產效率。及時判斷設備是否需要維護，可預防故障發生，保障工藝連續性。
一、監測運行參數的偏離情況
1、溫度控制精度波動
薄膜沉積冷水機PVD chiller的控溫精度是判斷其性能的核心指標之一。若發現循環液溫度波動超出設備標稱范圍，且非工藝負載變化所致，可能是制冷系統異常的信號，可能是溫度傳感器失靈、電子膨脹閥調節異常或制冷劑量不足等問題，需進一步排查。
2、制冷量與壓力參數異常
觀察制冷系統的壓力參數是否偏離正常范圍。若高壓壓力持續高于額定值，可能是冷凝器臟污、冷卻水量不足或系統內有空氣；若低壓壓力過低，可能是制冷劑泄漏、膨脹閥堵塞或蒸發器結霜。同時，制冷量下降表現為相同工況下達到設定溫度的時間延長，需檢查壓縮機效率、換熱器換熱效果等。
3、流量與壓力的異常波動
循環液流量和壓力是保障換熱效率的關鍵參數之一。當循環泵出口壓力低于額定值，或流量顯示值偏離設定值，可能是管路堵塞、泵體磨損或變頻器故障。此時需檢查過濾器是否堵塞、管路是否有泄漏點，或測試泵的轉速與揚程是否符合要求。
二、關注功能表現與系統異常提示
1、換熱效率下降的直觀表現
若薄膜沉積設備的工藝腔體溫升速率變快，或維持相同溫度所需的冷水機運行時間增加，可能是冷水機換熱效率下降的表現。可能是蒸發器表面結垢、冷凝器散熱不佳或導熱介質性能退化。
2、系統異常提示與異常聲響
當冷水機的PLC控制系統發出異常提示信號，需立即查看提示代碼并分析原因。若運行中出現泄漏提示，可能是管路接口密封失效或換熱器穿孔；若聽到壓縮機有異常敲擊聲或振動加劇，可能是內部零件磨損或制冷劑中混入雜質，需停機檢查。
三、檢查物理狀態與介質性能
1、設備外觀與管路的目視檢查
定期檢查冷水機外殼及管路是否有結露、油污或泄漏痕跡。若發現制冷管路表面有油漬，可能是制冷劑泄漏，需用檢漏儀進一步檢測；若循環水管路出現結露，可能是保溫層損壞或系統內進入空氣，導致冷凝水析出。此外，查看膨脹罐液位是否在正常范圍，若液位持續下降，可能是系統泄漏或導熱介質揮發。
2、導熱介質與耗材的性能評估
分析導熱介質的理化性質，若發現硅油、氟化液等載冷劑出現渾濁、變色或黏度異常，需及時更換。同時，檢查過濾器濾芯是否堵塞。
判斷薄膜沉積冷水機PVD chiller是否需要維護需綜合運行參數監測、功能異常識別、物理狀態檢查及預防性維護計劃。通過建立定期巡檢制度，可及時發現潛在問題，避免設備故障對半導體工藝造成影響，確保冷水機持續穩定運行。
