FLTZH雙通道高溫Chiller

2025/07/24 Chiller高精度冷熱循環(huán)器 159

適用范圍

FLTZ系列雙通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

每個(gè)通道具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。

加載情況下控溫精度可達(dá)士0.1℃，可在-45℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性。

產(chǎn)品參數(shù)

型號(hào)		FLTZH-5W/2T
介質(zhì)溫度范圍		40℃～+250℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器
溫控點(diǎn)控制模式		本體出液口溫控控制模式本體回液口溫度控制模式 CHUCK入口溫度控制模式（通信） CHUCK回口溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標(biāo)控制溫度點(diǎn)與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃
加熱功率		5.5kW	5.5kW
冷卻能力 kW? AT	250 ℃	5.5kW	5.5kW
	150 ℃	5kW	5kW
	100 ℃	4kW	4kW
	50 ℃	2kW	2kW
流量/壓力		8L/min 4bar	8L/min 4bar
操作面板		7寸觸摸屏
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電流監(jiān)控、漏水報(bào)警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫自?dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸		G1/2	G1/2
冷卻水接口		Rc1/2
冷卻水流量		10L/min max? at 25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)		氟化液
外形尺寸 cm		4585145（可定制化）
重量kg		約40KG
電源		220V 三相四線制 32A
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035