半導體廠冷水機在高放熱量控溫應用

半導體廠冷水機在高放熱量控溫應用中需滿足嚴苛溫度穩定性、快速散熱和耐腐蝕等要求，以下是其核心應用場景及技術要點分析：

一、高放熱量場景下的典型應用

1、刻蝕工藝（如等離子刻蝕）

高頻電場產生瞬間高溫，冷水機需快速散熱以維持腔體溫度穩定，避免刻蝕速率波動。

2、離子注入

高能離子束轟擊晶圓時產生集中熱量，冷水機需冷卻靶盤和束流部件，防止晶格損傷和摻雜不均。

3、擴散與氧化

爐體溫度高時，冷水機需快速帶走熱量，防止爐體過熱并保持溫度均勻性，避免晶圓因熱應力翹曲。

4、化學機械拋光（CMP）

拋光摩擦產生高溫易導致拋光液揮發，冷水機需冷卻拋光墊和傳動系統，減少表面缺陷。

5、薄膜沉積（CVD/PVD）

反應腔體高溫氣體需快速冷卻，防止副反應;濺射靶材冷卻可延長壽命并提升薄膜均勻性。

二、高放熱控溫的技術難點與解決方案

1、高精度溫控

需實現±0.5℃溫控精度，通過多級制冷系統和動態PID算法調節。

2、快速降溫能力

部分場景需短時間內實現大溫差降溫，采用壓縮機與板式換熱器提升制冷效率。

3、低振動與低噪音設計

壓縮機隔音罩與減震結構可防止振動干擾光刻等工藝。

智能化與能效優化

集成壓力傳感器和電磁三通閥，實現管路降壓與內循環切換;智能監控系統降低能耗。

三、冷水機選型要點

1、制冷量匹配

根據設備散熱量選擇略大于需求的制冷量（如冗余設計），避免因過載或低效導致控溫失效。

2、制冷方式選擇

高功率場景優選水冷式（效率高），空間受限時采用風冷式（靈活但效率較低）。

3、材料與工藝適配性

選配隔離防爆功能;

采用變頻壓縮機滿足半導體廠生產標準。

半導體廠高放熱場景對冷水機的溫控精度、散熱效率的要求嚴苛，冠亞恒溫半導體冷水機支持多通道溫控，覆蓋從晶圓制造到封裝測試全流程，需結合工藝需求定制化選型。