半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller技術(shù)解析與應(yīng)用指南
307半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller是半導(dǎo)體制造設(shè)備中實現(xiàn)溫度準(zhǔn)確控制的控溫裝置,通過制冷循環(huán)與熱交換技術(shù),將工藝過程中產(chǎn)生的熱量準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移,確保設(shè)備與晶圓在溫控精度下穩(wěn)定運行。 一、半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)Chiller技術(shù)解...
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