高低溫循環一體機中每個配件的性能都是不同的，我們要充分發揮每個配件的作用才能使得高低溫循環一體機更好的運行，其中低溫泵是主要的配件之一，其安裝的時候也需要按照要求來進行安裝。

低溫泵在安裝的時候需要注意安裝設施及要求，前級泵—低溫泵要求一臺前級泵預抽真空室，抽到低溫泵的啟動壓力。吸附井—安裝水冷擋板，如果油蒸汽返到低溫泵，可以使它的吸附陣被污染，則需要更換吸附陣。

高真空閥門安裝在低溫泵與真空室之間，這樣可以縮短啟動時間，還可以實現在真空室不放氣的情況下，還可以隨時對真空室進行檢漏。預抽閥在低溫泵的預抽接口處，需要安裝一只閥門，該閥門在預抽是打開的，而在低溫泵運行期間是關閉的，另外還有一只是用來用同一臺機械泵對真空室進行預抽的。

接著安裝低溫泵，高真空法蘭連接，低溫泵可以借助其高真空法蘭固定在真空室需要的任何地方，在安裝前請檢查是否完好，以其表面無壓痕和雜物為準則。抽氣接口和安全閥的連接，低溫泵在運行過程中，不能排氣，所以在啟動以前需要利用機械泵等粗抽泵通過抽氣接口來預抽低溫泵。要保證把低溫泵的抽氣接口接到相應尺寸的前級泵上去。

連接高低溫循環一體機低溫泵和壓縮機，把低溫泵和壓縮機，以及金屬軟管上所有自密封接頭上的保帽取下。注意：在如下的步驟中，不可以使用清潔劑去擦拭自密封接頭。在進行連接之前接頭上沒有灰塵、油跡、顆粒雜物等，必要時用一柄刷子去清潔螺紋，用一塊沒有棉絲的軟布去擦拭密封面上的任何贓物。連接金屬軟管，按照氣流方向連接軟管，從壓縮機開始到低溫泵，然后從低溫泵到壓縮機，用兩個扳手去擰緊每一只自密封接頭以保護軟管不至于扭曲而漏氣，適度擰緊每一只接頭，連接好之后在檢查壓縮機的壓力表的指示。