半導體專用溫控設備chiller適用于工藝制程中準確控制反應腔室溫度，是一種用于半導體制造過程中對設備或工藝進行冷卻的裝置，冠亞恒溫可為其提供了定制化的半導體Chiller解決方案。該方案采用了制冷技術和智能控制系統(tǒng)，能夠根據實際生產需求自動調節(jié)制冷量，確保生產環(huán)境始終保持在適合溫度范圍內。
目前冠亞恒溫半導體專用溫控設備chiller按照不同產品類型，包括單通道和雙通道，主要有FLTZ變頻單通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ變頻多通道系列（-45℃~+90℃）、無壓縮機系列ETCU換熱控溫單元（+5℃-+90℃）
半導體行業(yè)投入大，制造工序繁多。冠亞恒溫半導體專用溫控設備chiller幫助客戶在每個環(huán)節(jié)進行嚴格的質量把控，提供高穩(wěn)定性的溫度控制，保障產品的穩(wěn)定性和可靠性。
冠亞恒溫擁有超過14年的溫度控制經驗和與各行業(yè)配套的經驗，為客戶提供標準化和定制化的溫度控制產品，結合專業(yè)技術知識，確保滿足半導體工藝中的苛刻溫度要求。