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快速溫變控溫卡盤MD
氣體控溫系統(tǒng) 2722
MD在熱測(cè)試方面的zui大創(chuàng)新是熱控制卡盤系列，主要用于半導(dǎo)體晶片的性能測(cè)試、建模、工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)缺陷或IC故障分析。可以實(shí)現(xiàn)快速溫度變化，精準(zhǔn)控制溫度。系統(tǒng)本身自帶制冷機(jī)，避免了液氮、二氧化碳等的消耗，每個(gè)系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元
| 型號(hào) | MD-708 | MD-712 | MDL-708 |
| 溫度范圍 | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 平板溫度均勻性 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 平板平整度 | ±50um | ±50um | ±50um |
| 平板尺寸 | 直徑200mm圓盤 | 直徑300mm圓盤 | 150mm*200mm |
| 主機(jī)與卡片連接線 | 2.5m(可定制其他長(zhǎng)度） | ||
| 平板表面處理 | 電鍍鎳（可選擇電鍍 黃金） | ||
| 升溫 | -60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2?min +25°C to +220°C: 6 min | ||
| 降溫 | 220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min | ||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器，加熱前饋PID模糊算法，制冷電子膨脹閥PID調(diào)節(jié)控制制冷量 | ||
| 顯示與記錄 | 7寸彩色觸摸屏，記錄溫度曲線 | ||
| 通訊 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | ||
| 制冷壓縮機(jī) | 泰康壓縮機(jī) | ||
| 電源 | 220V 50/60HZ 2.8KW | 220V 50/60HZ 4.5KW | 220V 50/60HZ 2.8KW |
| 主機(jī)尺寸mm | 550×650×370 | 550×650×370 | 550×650×370 |
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