LTS?-40℃～80℃

廣泛運用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場所，適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品介紹詳細信息

廠家實力視頻：

生產(chǎn)車間面積超1.2萬㎡，2021年銷售額突破3億元，在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場所，適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能，而且不會對人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液，具有工作溫度范圍寬泛，易于維護等特點，是傳統(tǒng)冷卻液體（如水、水乙二醇或油）的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛，從半導(dǎo)體制程過程冷卻，再到對航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計原理和功能優(yōu)勢采用全密閉管道式設(shè)計，降低導(dǎo)熱液需求量的同時，提高系統(tǒng)的熱量利用率，達到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃，屬于一種不會影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的高性能產(chǎn)品，可使溫室氣體排放量減少。同時針對氟化液易揮發(fā)特點，加強接頭設(shè)計、系統(tǒng)密封設(shè)計，確保介質(zhì)使用壽命。

型號	LTS-402	LTS-403	LTS-404	LTS-406	LTS-408
	LTS-402W	LTS-403W	LTS-404W	LTS-406W	LTS-408W
溫度范圍	??-40℃～80℃
控溫精度	±0.1℃? -40℃～-10℃
流量控制	7～25L/min		12～45L/min
	流量控制采用變頻器調(diào)節(jié)，循環(huán)泵最大壓力5bar
內(nèi)循環(huán)液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
系統(tǒng)壓力顯示	制冷系統(tǒng)壓力、循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器	PLC控制器，模糊PID控制算法，具備串級控制算法
溫度控制	導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度控制模式
	外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級控制）
通信協(xié)議	以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
	RS485接口 modbus RTU協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋	設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度、介質(zhì)進口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
密閉循環(huán)系統(tǒng)	整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)進入循環(huán)系統(tǒng)
壓縮機	艾默生谷輪/丹佛斯渦旋柔性壓縮機
循環(huán)泵	磁力循環(huán)泵
蒸發(fā)器	板式換熱器
冷凝器	銅管鋁翅片冷凝器
	板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務(wù)水
制冷附件	丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器）
操作面板	無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑（標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）