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FLTZ-80℃~+90℃

FLTZ-80℃~+90℃

廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì) 不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造、芯片器件、航空電子設(shè) 備中的制冷加熱溫度控制。

廠家實(shí)力視頻:

生產(chǎn)車間面積超1.2萬(wàn)㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無(wú)錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。

產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能,而且不會(huì)對(duì)人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負(fù)面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護(hù)等特點(diǎn),是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導(dǎo)體制程過(guò)程冷卻,再到對(duì)航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理和功能優(yōu)勢(shì) 采用全密閉管道式設(shè)計(jì),降低導(dǎo)熱液需求量的同時(shí),提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達(dá)到快速升降溫度。

氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會(huì)影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時(shí)針對(duì)氟化液易揮發(fā)特點(diǎn), 加強(qiáng)接頭設(shè)計(jì)、系統(tǒng)密封設(shè)計(jì),確保介質(zhì)使用壽命。

型號(hào)FLTZ-803WFLTZ-805WFLTZ-806WFLTZ-808WFLTZ-810W
溫度范圍?-80℃~+90℃
控溫精度±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備)
流量/壓力 MAX7~25L/min? 5bar12~45L/min 6bar
制冷量at-70℃0.6kW1kW1.5kW2kW3kW
加熱功率2kW2kW2kW3.5kW3.5kW
內(nèi)循環(huán)液容積4L5L6L8L10L
膨脹罐容積10L10L15L15L20L
導(dǎo)熱介質(zhì)氟化液
進(jìn)出接口Rc1/2Rc1/2Rc3/4Rc3/4Rc3/4
冷卻水接口Rc3/4Rc3/4Rc3/4Rc1Rc1
冷卻水a(chǎn)t20℃1.8m3/H2.5m3/H3m3/H5m3/H6m3/H
斷路器25A25A32A40A50A
?藝過(guò)程溫度控制可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫)

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